三坐標測量機的維護保養通常包括日常維護、定期維護、定期檢查和精度校準四項內容。其中日常維護是大家容易忽略的，如果您想遠離設備高額的維護、維修費用，就要從日常做起。

每日：

開機前

1、檢查并放掉過濾器中的油與水。

2、在打開空調的情況下，用擦拭紙和無水酒精擦拭測量機導軌，保持清潔。

3、檢查測量機導軌區域內是否有障礙物。

4、檢查室內溫、濕度是否在要求范圍內（20℃±2℃，40％～65％）。

5、打開氣源開關，檢查輸入的氣源壓力是否符合要求，打開冷凍式除水器電源。

6、打開UPS電源，檢查電源是否正常（220V±10％）。

7、打開控制系統電源，打開計算機啟動軟件初始化。

8、測量零件時，應保證被測零件在測量間的恒溫時間（4小時）。

關機前

1、將測座運動到關閉位置，測頭旋轉到90，0角度。

2、退出測量軟件，關閉控制系統，關閉計算機電源。

3、關閉氣源開關、冷凍式除水機開關。關閉UPS電源開關。

4、檢查測量機已停氣。

每季：

1、測量典型零件，檢查測量機精度是否有很大的變化，能否滿足要求。在季節變化或環境條件變化時尤其需要檢查。

2、檢查過濾器是否清潔。清洗過濾器濾心，如有必要，則更換。嚴重的話清理空壓機、過濾器、儲氣罐、以及管道中的水。

3、檢查探測系統即測頭精度。估算測頭使用年限，適當準備備件（尤其是觸發式測頭）。

每年：

1、建議每年進行測量機精度校準。

2、檢查壓縮空氣管道、儲氣罐的氣密性等。

3、對測量機氣浮塊、傳動帶、電機等機械部分進行檢查。

4、清潔光柵尺，檢查讀數頭工作狀態。

5、對控制系統進行清潔，檢查內部電纜頭是否松動。